7803-51-2

CAS.NO 7803-51-2
英語名 phosphine
日本語名 ホスフィン
分子量 34
融点(℃) -133
沸点(℃) -88
Tg(℃)  
用途 n型エピタキシャル成長シリコン、ドープした酸化シリコンのデポジション、イオン注入用などのドーパント、有機リン化合物の製造
備考1  
備考2

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